في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، فإن أي تغيير بمقدار نصف درجة في درجة حرارة التسخين يؤدي إلى تغيير في الأبعاد الحرجة للرقاقة بمقدار نانومترات. هذا ليس مجرد أثر للحرارة، بل هو نتيجة للتحكم الدقيق في درجة الحرارة.
المصابيح العادية قد تنتج الأوزون، وهذا الأوزون يؤثر سلبًا على قدرة المادة المستخدمة في عملية الطباعة على الالتصاق بالرقاقة، كما أنه يزيد من عدد الجسيمات الموجودة في البيئة. لذلك، نستخدم مصابيح بالأشعة تحت الحمراء خالية من الأوزون، حتى يظل مستوى الحرارة ثابتًا، دون أي مفاجآت.
ما الذي يهم في العملية؟ نستخدم مصابيح بالأشعة تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، والتي توفر استجابة سريعة، مما يسمح بالحفاظ على مستوى ثابت للحرارة خلال ثوانٍ. في منطقة التسخين، يظل التوحيد في درجة الحرارة عند ±0.1 درجة مئوية، كما أن الدقة في كل عملية تسخين تظل ثابتة.
الغلاف الزجاجي والمواد المستخدمة في الغرف النظيفة مصممة خصيصًا للبيئات من الفئة 1 إلى 100. لا يوجد أي انبعاثات غازية أو جسيمات في البيئة أثناء تشغيل المصابيح. كما أن كثافة الطاقة مضبوطة بحيث تتناسب مع خصائص المادة المستخدمة في عملية الطباعة، مما يقلل من التأخر الحراري والآثار الجانبية.
لماذا هذا مهم في عملية الطباعة؟ عملية التسخين الخفيف تهدف إلى إزالة المذيبات وتثبيت توتر الفيلم المستخدم في الطباعة. أما عملية التسخين الشديدة، فهي تهدف إلى تثبيت الصورة قبل عملية النقش. باستخدام مصابيح بالأشعة تحت الحمراء خالية من الأوزون، يمكننا الحفاظ على دقة عرض الخطوط، وتقليل العيوب، وتقليل الحاجة إلى إعادة العمل.
النظام يعمل على مدار 24 ساعة يوميًا بإخراج ثابت، كما أن استخدام الطاقة أقل مقارنة بالطرق التقليدية، لأن الحرارة تصل مباشرة إلى الفيلم، وليس إلى الغرفة نفسها. كما أن الإنتاجية تزداد دون التأثير على جودة المنتج، وعمر المصابيح يسمح بالعمل لفترات طويلة مع فترات صيانة متوقعة.
الجوانب العملية: إخراج الطاقة من المصابيح يكون في خط مستقيم، لذا يجب أن تكون هناك طريقة لضمان توجيه الإشعاع بشكل صحيح نحو الرقاقة. يجب استخدام أجهزة عاكسة لمنع الحرارة الزائدة من التأثير على الأجزاء الأخرى من الجهاز.
بعد توقف الجهاز عن العمل، يحتاج إلى وقت قصير للوصول إلى توازن حراري، لذا يجب التخطيط لعمليات التسخين بناءً على هذا الوقت. التوافق مع الأجهزة الأخرى سهل، لكن يجب التأكد من التوافق الميكانيكي واتصالات الطاقة مع فريق الصيانة.