تحقيق عملية تسخين خالية من التلوث لتجفيف رقاقات MEMS، باستخدام مصابيح الأشعة تحت الحمراء المصنوعة من الكوارتز عالي النقاء
الحفاظ على نظافة غرفة العمليات رقم 100 بشكل فعّال إذا كنت تقوم بتجفيف رقائق أجهزة MEMS، فأنت تعرف جيدًا المشكلة: وجود ذرة غبار واحدة على سطح الرقيقة...