উচ্চ বিশুদ্ধতাসম্পন্ন কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করে MEMS ওয়েফারগুলোকে শুষ্ক করার সময় কোনো ধরনের দূষণ না ঘটানো।