ডিপ ইউভি (DUV) রেজিস্ট বেক ল্যাম্প
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায় দ্রুতই শেখা যায়। এখানে সামান্যতম ভুলও ফলাফলকে প্রভাবিত করে। অর্ধ-ডিগ্রির মতো ছোট ভুলও ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনকে লক্ষ্যথেকে...
ড্রাই ফিল্ম রেজিস্ট ল্যামিনেটিং হিটার
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ল্যামিনেটিং হিটারটি শুধুমাত্র তাপ সরবরাহ করে না; বরং পুরো ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত তাপমাত্রা নির্ধারণ করে। যদি...