V procesu litografie může půl stupně změny teploty během soft bake fáze způsobit posun kritických rozměrů o několik nanometrů. Nejde jen o teplo – jedná se o přesnou kontrolu.
Běžné lampy mohou vytvářet ozón, a tento produkt mění adhezi fotorezisty a zároveň ovlivňuje počet částic v prostředí negativním způsobem. My používáme infračervené lampy bez ozónu, takže teplota zůstává v nastavených mezích – žádné překvapení.
Co je důležité pod povrchem Používáme emitory krátkovlnného infračerveného záření s rychlou odezvou, díky čemuž lze dosáhnout stabilního výstupu během několika sekund. V celé oblasti zpracování je uniformita teploty na úrovni ±0,1 °C a opakovatelnost procesu zůstává konstantní.
Kvartové obaly a materiály vhodné pro čisté prostory jsou určeny pro prostředí tříd 1–100. Během provozu lamp nedochází k uvolňování žádných látek ani k vzniku částic. Intenzita záření je přizpůsobena profilům fotorezistu a spektrální výstup odpovídá absorpční křivce běžných typů fotorezistů – méně tepelného zpoždění, méně okrajových efektů.
Proč je to důležité při zpracování fotorezistu Soft bake slouží k odstranění rozpouštědel a k regulaci napětí v filmu. Hard bake zase stabilizuje obraz před leptáním. Díky infračerveným lampám bez ozónu lze udržet šířku linek v kontrole, odstranit defekty a snížit počet oprav.
Systém funguje 24/7 s stabilním výstupem. Vy ušetříte energii oproti konvekčnímu zahřívání, protože teplo putuje přímo do filmu, nikoli do komory. Kapacita systému roste bez kompromisů v kvalitě výsledku. Životnost lamp umožňuje dlouhodobý provoz s předvídatelnými obdobími údržby.
Praktické aspekty Výstup lampy je ve směru linie pohledu, proto musí geometrie integrace zajistit, aby paprsek byl zarovnán s trasou waferu. Použijte reflexní prvky, aby se zabránilo úniku tepla na okolní optiku.
Po ukončení provozu je potřeba krátké „rozehřátí“, aby se dosáhlo termodynamické rovnováhy – plánujte své profily zahřívání s ohledem na tento čas. Kompatibilita s existujícími zařízeními je jednoduchá, ale potvrďte mechanické rozestupy a napajovací konektory s vašim technickým týmem.