جلوگیری از فاجعه ناشی از خراب شدن لامپها در فرآیند تولید ویفرها
اگر تا به حال در فرآیندهای تولید نیمههادی با بار کاری بالا کار کرده باشید، میدانید که چه احساسی دارد؛ آن صدای ناگهانی خراب شدن لامپ… این فقط یک قطعه خراب شده نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
وقتی لوله کوارتزی خراب میشود، تکههای شیشه و رشتههای توانگستن روی ویفرها میافتند؛ در نتیجه، محصولات تولید شده از بین میروند. حالا باید ساعتها یا روزها وقت صرف تمیز کردن محفظه کنید تا بتوانید دوباره به وضعیت عادی برگردید. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل، ما لامپهایی با پوشش طلا ساختیم؛ میخواستیم این مشکل «آلودگی ثانویه» را برای همیشه از بین ببریم.
راز، در خود لامپ نهفته است.
ما عنصر گرمایشی را درون یک لوله کوارتزی دیگر قرار دادیم؛ میتوانید آن را مانند یک تور ایمنی در نظر بگیرید. اگر لوله داخلی به دلیل اختلالات الکتریکی یا شوک حرارتی خراب شود، لوله بیرونی تمام ذرات موجود را جذب میکند.
بنابراین، ویفرها تمیز باقی میمانند؛ شما میتوانید فرآیند تولید را ادامه دهید یا آن را متوقف کنید، بدون نیاز به تمیز کردن زحمتآور محفظه.
چرا استفاده از طلا؟
لامپهای کوارتزی استاندارد، انرژی زیادی را از دست میدهند؛ این انرژی در هوا از بین میرود. برای رفع این مشکل، ما پوشش نازکی از طلا روی سطح لامپ اضافه کردیم؛ این پوشش مانند یک آینه عمل کرده و تابش مادون قرمز را دوباره به سمت هدف میفرستد.
بنابراین، شما میتوانید چگالی حرارتی بالاتری روی سطح ویفرها داشته باشید، بدون نیاز به افزایش توان لامپ. این روش بسیار کارآمدتر است.
اما باید مراقب باشید؛ طلا ماده حساسی است؛ نمیتوانید از مواد شیمیایی خشن برای تمیز کردن آن استفاده کنید. در غیر این صورت، پوشش طلا از بین خواهد رفت و عمر لامپ کاهش خواهد یافت. لطفاً با آن مراقب باشید.
نحوه استفاده از این لامپها در شرایط واقعی
این لامپها برای تولید انرژی با توان بالا و امواج کوتاه طراحی شدهاند. وقتی این لامپها را به سیستمهایی با بار کاری بالا متصل میکنید، دما بسیار بالا میرود.
بنابراین، باید سیستمهای خنککننده را به دقت بررسی کنید؛ اگر جریان هوا کاهش یابد، پوشش طلا میتواند باعث گرم شدن بیش از حد لوله کوارتزی شود؛ این امر میتواند عمر لامپ را کاهش دهد.
برای کمک به مقابله با فشارهای ناشی از گرم شدن و سرد شدن سریع، ما کپهای تقویتشدهای روی لامپها اضافه کردیم؛ این کپها به گونهای طراحی شدهاند که بتوانند جایگزین سادهای برای سیستمهای گرمایشی استاندارد باشند؛ بنابراین نیازی نیست کل سیستم را دوباره ساختاربندی کنید.