جلوگیری از نشت گرمایی در مراحل شستشوی تراشهها اگر تا به حال در فرآیندهای شستشوی تراشهها کار کرده باشید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. شما سعی میکنید دمای ویفر را در سطح دقیقی نگه دارید، اما در عین حال، داخل دستگاه به یک فر تبدیل میشود. لامپهای مادون قرمز استاندارد، در واقع لامپهایی هستند که گرما را به همه جا پخش میکنند. این کار باعث هدررفت انرژی زیادی میشود؛ همچنین، بدنه دستگاه آنقدر گرم میشود که خطرات ایمنی ایجاد میکند. ما فکر کردیم که راه بهتری وجود دارد: استفاده از نور مادون قرمز جهتی. قرار دادن گرما در جای مناسب آن مزیت استفاده از نور مادون قرمز جهتی این است که از نشت گرما جلوگیری میکند. به جای اینکه گرما وارد دیوارههای دستگاه شود، انرژی دقیقاً در جایی که لازم است، یعنی روی سطح مورد نظر، تمرکز میشود. این روش باعث میشود که شما دمای مورد نظر را روی ویفر داشته باشید، اما بدنه دستگاه گرم نشود. انرژی شما صرف کار میشود، نه گرم کردن اتاق. مقابله با محیطهای مرطوب محیطهای مورد استفاده برای شستشو، توسط تعریف، مرطوب هستند. این موضوع برای لامپهای استاندارد مشکلساز است؛ اگر لامپ معمولی را در چنین محیطی قرار دهید، احتمالاً به دلیل شوک حرارتی، خراب خواهد شد. ما این مشکل را با استفاده از غلافهای کوارتزی و مهرهای ضدآب حل کردیم. ما مطمئن شدیم که اتصالات الکترودی به خوبی بسته شدهاند تا مایع نتواند وارد شود. این کار باعث میشود که لامپها حتی در میان چرخههای شستشوی طولانی نیز کار کنند. مشکلات پیچیده و راهحلهای آنها البته، یک توازن لازم است؛ زیرا پرتو نور بسیار متمرکز است، بنابراین چگالی گرما در نقطه کانونی بسیار زیاد است. باید مراقب کنترلکنندههای PID باشید؛ اگر آنها به درستی تنظیم نشوند، ممکن است دمای ویفر از حد مورد نظر فراتر رود. همچنین، باید به فاصله بین الکترودها توجه کنید؛ اگر فاصله کانونی چند میلیمتر اشتباه باشد، یکنواختی گرمایی روی ویفر کاهش خواهد یافت. این کار دشوار است، اما ارزشش را دارد. علاوه بر این، سیستم تهویه هوا نیز از این روش سپاسگزار خواهد بود؛ زیرا دیگر نیازی نیست برای کنترل دما با بدنه دستگاه مبارزه کنید. این کار باعث میشود که همه چیز سردتر باقی بماند. این موضوع برای افرادی که دستگاه را کنترل میکنند، ایمنتر است؛ همچنین، قطعات داخلی دستگاه نیز در طول زمان آسیب نخواهند دید. فقط کافی است آن را با یک کنترلکننده مخصوص متصل کنید تا این محدودیتها رعایت شوند، و شما میتوانید از آن استفاده کنید.