בקו של 300mm, אפייה רכה של 15 שניות שסטייה של 2°C תופיע כהתנודדות רוחב קצה בשכבת הרזיסט. יש לכם הזדמנות אחת בלבד לחשיפה. בנינו את מנורת החימום באינפרא-אדום עם תגובת מהירה כדי לשמור את התקציב התרמי בתוך הטווח, מחזור אחרי מחזור.
מה שחשוב מתחת למכסה המנוע
אנחנו מפעילים אלמנטים הלוגניים קצרים בתוך מעטפות קוורץ — נבחרו עבור תגובת קרינה מהירה ופליטה יציבה. זמן התגובה נמוך מ-200ms, ובקרת הטמפרטורה שומרת על ±0.1°C על פני כל משטח הפאואר. העיצוב מיועד לעבוד בחדרים נקיים מסוג Class 1–100 עם אפס יצירת חלקיקים, והפלט נשאר קבוע על פני 5,000+ שעות עם ירידה של פחות מ-5%.
מדוע זה עובד בתהליכי עיבוד פוטורזיסט
אפייה רכה, אפייה קשה, אפיית קרבה—אחידות הטמפרטורה היא המשתנה שקובע את אחידות רוחב הקצה והצפיפות של פגמים. תגובה מהירה מצמצמת את חלון הייצוב, כך שניתן להפחית את זמני ההמתנה מבלי לפגוע באחידות. התוצאה היא תפוקה גבוהה יותר, חלונות תהליך צרים יותר ופחות פסולת של פאואר. צריכת האנרגיה יורדת גם כן, כיוון שהחום נמסר לפי דרישה, ולא מאוחסן.
מה שצריך לשים לב אליו
סובלנות ההתקנה מחמירות. המנורה חייבת להיות ממוינת עם גאומטריית המייבא והמרחק היעד — אחרת יתפתחו נקודות חמות וסטיות אחידות. לפני החלפה, יש לוודא את שקע המכשיר, המתח וציוד ההרכבה. אנו תומכים בממשקים סטנדרטיים, אך לוחות אפייה ישנים עשויים לדרוש תושבות מותאמות אישית. יש לתכנן בדיקת המייבא כל 2,000 שעות כדי לשמור על הביצועים במקום הנכון.