מנורת אפייה לחומרי עמידות באור על סגול עמוק (DUV)

בתהליך הליתוגרפיה, לומדים מהר מאוד: ערכי חימום לא יציבים, אפילו במעט, עלולים לגרום לבעיות שלא ניתן לחזות אותן. שינוי של חצי מעלה בערך החימום עלול...