בתהליך הליתוגרפיה, לומדים מהר מאוד: ערכי חימום לא יציבים, אפילו במעט, עלולים לגרום לבעיות שלא ניתן לחזות אותן. שינוי של חצי מעלה בערך החימום עלול...

בתהליך הליתוגרפיה, מכשיר החימום אינו יוצר רק חום – הוא גם קובע את הערך התרמי הנדרש לכל שכבת הפוטורזיסט. אם יש שינוי של 0.5°C במהלך תהליך החימום, זה...