300 मिमी लाइन पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया केवल एक सामान्य तापीय प्रक्रिया ही नहीं है; बल्कि यह तो आकार-संबंधी नियंत्रण हेतु आवश्यक है। यदि “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में तापमान में ±0.1°C से भी थोड़ी भी विचलन हो जाए, तो आपका आकार-नियंत्रण पूरी तरह विफल हो जाता है। पारंपरिक हॉटप्लेटों में वेफर की सतह पर तापमान-नियंत्रण में कठिनाइयाँ होती हैं, जबकि कंवेक्टिव ओवनों से हवा में मौजूद कण वेफर तक पहुँच जाते हैं। क्लास 1–100 क्लीनरूमों में कणों का उत्पादन एवं अप्रत्याशित रुकावटें मिनटों में ही नुकसान पहुँचा सकती हैं… बल्कि पूरे उत्पादन-चक्र में ही नुकसान होता है।
नीरव ऊर्जा-आधारित ड्रायर
हमने NIR ड्रायर को निकट-अवरक्त विकिरण के आधार पर विकसित किया है… यह प्रक्रिया बिना किसी हवा-प्रवाह के ही वेफर को सीधे गर्म करती है। इसका परिणाम यह है कि पूरी प्रक्रिया के दौरान वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… और फोटोरेजिस्ट का तापमान भी कुछ ही सेकंडों में निर्धारित मान पर पहुँच जाता है। चूँकि कोई हवा ही नहीं है, इसलिए कोई कण भी वेफर तक नहीं पहुँच सकता। चैंबर पूरी तरह से बंद है… इसलिए वेफर को स्पर्श करने वाली चीज़ केवल वेफर ही है।
24/7 उपयोग हेतु डिज़ाइन
यह सिस्टम 24/7 उपयोग हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… इसके घटक लगातार कार्य करने हेतु उपयुक्त हैं… एवं इसकी तापीय संरचना हजारों चक्रों तक नियंत्रण बनाए रखने में सक्षम है। क्लीनरूम से संबंधित सभी आवश्यकताएँ इस डिज़ाइन में ही शामिल हैं… यह यांत्रिक रूप से सील्ड है… रासायनिक रूप से भी उपयुक्त है… एवं कणों की संख्या को न्यूनतम स्तर पर रखने हेतु भी इसका डिज़ाइन उपयुक्त है।
लिथोग्राफी में इसका महत्व
लिथोग्राफी में, तापमान-नियंत्रण ही CD स्थिरता एवं उत्पादन-दक्षता का आधार है। NIR ड्रायर, तापीय प्रक्रिया के समय को कम करता है… तापीय खर्च को कम करता है… एवं ओवनों में होने वाली विचलनों को भी दूर करता है। इसके परिणामस्वरूप “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में अधिक स्थिरता होती है… पुनर्कार्य कम हो जाता है… एवं उत्पादन-प्रक्रिया अधिक पूर्वानुमेय हो जाती है।
ऊर्जा-उपयोग में कमी
चूँकि ऊर्जा सीधे वेफर में ही जाती है… इसलिए हवा या अन्य उपकरणों को गर्म करने हेतु ऊर्जा की आवश्यकता ही नहीं है। रखरखाव के अंतराल भी बढ़ जाते हैं… क्योंकि यहाँ कम ही घिसने वाले घटक हैं। एवं तापमान-नियंत्रण ही अब बाधा नहीं रह जाता… इसलिए उत्पादन-प्रक्रिया में विस्तार हो जाता है।
योजना बनाते समय ध्यान देने योग्य बातें
NIR ड्रायर को वेफर की सतह तक सीधी दृष्टि ही आवश्यक है… इसलिए चैंबर की व्यवस्था ऐसी होनी चाहिए कि वहाँ कोई बाधा न हो। मौजूदा प्रणालियों में इसे एकीकृत करते समय, यांत्रिक व्यवस्था एवं संचार-प्रोटोकॉलों पर ध्यान देना आवश्यक है… हम पहले ही इंटरफेस-संबंधी जानकारी देते हैं… ताकि एकीकरण के दौरान कोई समस्या न हो।
प्रारंभिक परीक्षण
प्रारंभिक परीक्षण में, फोटोरेजिस्ट संबंधी पैरामीटरों को समायोजित करने हेतु थोड़ा समय आवश्यक है… एक बार यह समायोजन हो जाने के बाद, प्रक्रिया लगातार, स्थिर एवं विश्वसनीय रूप से ही चलती रहती है… दिन-ब-दिन… एवं बैच-दर-बैच।