ऊर्जा को सही जगह पर ही उपयोग में लाना
जब आप सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के दौरान वेफर को गर्म कर रहे होते हैं, तो बस वॉटेज बढ़ाना ही पर्याप्त नहीं है। कोई भी व्यक्ति ऊर्जा का उपयोग कर सकता है, लेकिन वास्तविक चाल तो ऊर्जा को सही दिशा में ही निर्देशित करना है।
यदि आपकी इन्फ्रारेड ऊर्जा मशीन के अन्य हिस्सों में चली जाए, तो आप सिर्फ बिजली की बर्बादी कर रहे हैं, एवं मशीन के उन हिस्सों को भी गर्म कर रहे हैं जिन्हें ठंडा ही रखना आवश्यक है। इसीलिए हम सोने से लेपित रिफलेक्टरों का उपयोग करते हैं… ऐसा करने से ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पहुँचती है।
सोना क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज लैंपों के बारे में सोचिए… वे ऊर्जा को हर दिशा में ही फैला देते हैं। ऐसी स्थिति में मशीन के अन्य हिस्से अत्यधिक गर्म हो जाते हैं।
हम रिफलेक्टरों पर पतली सोने की परत लगाते हैं… क्योंकि सोना, एल्यूमिनियम या पॉलिश्ड स्टील की तुलना में इन्फ्रारेड ऊर्जा को बेहतर तरीके से परावर्तित करता है… इससे ऊर्जा एक ही दिशा में ही जाती है।
परिणाम? आपके द्वारा उपयोग में लाई गई प्रत्येक वॉट ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पहुँचती है… यही तो दक्षता है।
संतुलन बनाए रखना
यह सब ऊर्जा-घनत्व पर ही निर्भर है… ज्यामिति को सही तरीके से व्यवस्थित करके, एवं सोने की परत का उपयोग करके, हम ऊर्जा को सही दिशा में ही निर्देशित कर सकते हैं।
इससे आप वेफर को तेजी से गर्म कर सकते हैं… और इस क्षेत्र में तेज ऊष्मा-प्रतिक्रिया ही स्थिर प्रक्रिया एवं खराब वेफरों के बीच का अंतर है।
लेकिन आपको इसे सीमा से आगे नहीं ले जाना चाहिए… उच्च-घनत्व वाली ऊर्जा से लैंप के सीलों एवं आवरणों पर बहुत दबाव पड़ता है… यदि आप वॉटेज बहुत अधिक बढ़ा देते हैं, तो फिलामेंट खराब हो जाएगा, या रिफलेक्टर भी खराब हो जाएगा… आपको यह भी सुनिश्चित करना होगा कि आपकी शीतलन प्रणाली, वेफर तक न पहुँचने वाली ऊर्जा को संभाल सके।
इन हीटरों का उपयोग करना
हमने ऐसे हीटर बनाए हैं, जिन्हें आपकी मौजूदा मशीनों में आसानी से ही लगाया जा सकता है… लेकिन एक चेतावनी… सोना बहुत ही संवेदनशील है… यदि उस पर तेल या रसायन लग जाएं, तो उसकी परावर्तन-क्षमता कम हो जाती है… इससे ऊर्जा असंतुलित रूप से ही वितरित हो जाती है… इसीलिए हम सख्त सफाई-प्रक्रियाओं का ही उपयोग करते हैं… सोने को साफ रखें… वरना वेफरों पर ठंडे हिस्से बन जाएंगे… और यह तो ऐसी समस्या है जिससे आपको बचना ही चाहिए।