Mengapa kita beralih dari sistem pemanasan udara konvensional ke sistem pemanasan inframerah di pabrik semikonduktor Coba bayangkan bagaimana cara kerja oven konveksi biasa. Udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebutlah yang memanaskan wafer. Prosesnya lambat. Ada waktu tunggu yang cukup lama sebelum suhu mencapai tingkat yang diinginkan. Di pabrik semikonduktor, waktu tunggu ini sangat merepotkan dan menghambat proses produksi. Itulah mengapa kita mulai mengganti sistem pemanasan udara konvensional dengan sistem pemanasan inframerah, yang terpasang di dalam wadah khusus berbahan baja tahan karat. Tidak perlu lagi menggunakan udara sebagai medium penghantar panas Keunggulan sistem pemanasan inframerah adalah tidak membutuhkan udara untuk menghantarkan panas. Sistem ini menggunakan gelombang elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Tidak perlu menunggu seluruh ruangan menjadi hangat; proses pemanasan berlangsung secara instan. Saat merancang sistem pemanasan, hal yang paling penting adalah waktu yang diperlukan agar suhu mencapai titik yang diinginkan. Oven konveksi mungkin membutuhkan waktu 20 menit untuk mencapai kondisi stabil. Sedangkan sistem pemanasan inframerah hanya membutuhkan beberapa detik saja. Dengan demikian, kita bisa memproses lebih banyak wafer per shift. Aspek perangkat keras Kita menggunakan baja tahan karat berkualitas tinggi untuk membuat wadah tersebut, karena tekanan termalnya sangat tinggi. Namun, wadah tersebut tidak hanya berfungsi untuk menempatkan lampu pemanas, tetapi juga berfungsi sebagai cermin. Permukaan bagian dalam wadah dibuat halus agar foton-foton yang tidak diinginkan dapat dipantulkan kembali ke permukaan wafer. Luas area yang diperlukan juga lebih kecil. Kita tidak perlu lagi menggunakan saluran udara atau kipas angin yang besar, sehingga ruang yang tersedia bisa dimanfaatkan lebih efisien. Namun, ada tantangan tersendiri. Sistem pemanasan inframerah menghasilkan panas yang sangat intens. Jika sistem ventilasi atau kipas pendinginnya tidak memadai, maka komponen elektronik yang digunakan untuk mengontrol sistem pemanasan akan rusak. Realitas di lapangan Kita tidak bisa langsung menggunakan sistem pemanasan inframerah tanpa melakukan penyesuaian terlebih dahulu. Sistem konveksi relatif lebih mudah dikendalikan, tetapi sistem inframerah membutuhkan ketelitian yang tinggi. Jika posisi lampu pemanas sedikit menyimpang, maka akan terbentuk titik-titik panas pada permukaan wafer. Kita perlu menyesuaikan sudut lampu pemanas agar panasnya dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer.