이제 더 이상 벤치톱 히터를 기다리지 마세요.
반도체 제조 과정에서는 속도가 모든 것입니다. 하지만 여전히 열공기를 이용해 부품을 가열한다면, 그건 사실상 발전이 없는 상태라고 할 수 있습니다.
열공기가 어떻게 작동하는지 생각해보세요. 공기를 가열한 다음, 그 공기가 부품을 따뜻하게 할 때까지 기다려야 합니다. 이는 중간 단계가 필요한 과정입니다. 그리고 고압 환경에서는 이러한 중간 단계들이 오히려 작업 속도를 늦춥니다.
진짜 문제는 바로 이러한 지연 시간입니다.
여기서 적외선 램프가 유용합니다. 열공기를 사용하는 대신, 적외선은 복사열을 이용합니다. 이 파동들은 빛의 속도로 이동하여 목표물을 직접 가열합니다. 중간 단계가 없으며, 바람이 불어오기를 기다릴 필요도 없습니다.
클린룸에 적외선 램프를 설치한다는 것은 단순히 하드웨어를 구입하는 것이 아니라, 시간을 되찾는 것과 같습니다.
웨이퍼를 예로 들어보죠. 열공기 오븐으로는 웨이퍼의 표면 온도를 안정시키는 데 10분이 걸리지만, 적외선 램프는 몇 초 만에 가능합니다. 이것이 바로 시간을 낭비하지 않고 작업을 빠르게 처리할 수 있는 방법입니다.
작업 공간을 깔끔하게 유지하기
게다가, 이러한 장비들은 부피가 큰 열공기 장비에 비해 훨씬 작습니다. 거대한 팬이나 단열된 배관 같은 것들을 사용할 필요가 없습니다. 램프를 PID 컨트롤러에 연결해 천장에 설치하기만 하면 됩니다.
또 한 가지 장점은, 방 전체를 가열하지 않는다는 점입니다. 열이 특정 부위에만 집중되므로, HVAC 시스템도 과부하가 걸리지 않으며, 주변 온도가 급격히 상승해 다른 민감한 장비들이 고장 나는 일도 없습니다.
단점도 있습니다.
적외선도 마법은 아닙니다. 방향성이 있습니다.
부품의 형태가 이상하거나 깊은 곳이 있다면, 열이 그 부분까지 도달하지 못할 수 있습니다. 이를 해결하려면 단순히 하나의 램프만으로는 충분하지 않습니다. 여러 개의 램프를 사용하여 모든 부분이 골고루 가열되도록 해야 합니다.
또한, 이러한 램프들은 매우 강력한 열을 발생시킵니다. 따라서 벤치 표면이 그 열을 견딜 수 있도록 해야 합니다.