
IR 가열을 활용해 바이오센서 제작 과정을 더 친환경적으로 만들기 바이오센서를 제작할 때는 일반적으로 두 가지 작업이 필요합니다. 바로 기판을 건조시키고, 열을 이용해 모든 것을 경화시키는 것입니다. 오랫동안 표준적인 방법은 대류 오븐을 사용하는 것이었습니다. 하지만 솔직히 말해서, 작은 웨이퍼 하나를 따뜻하게 만들기 위해 큰 공간 전체를 가열하는 것은 에너지 낭비입니다. 그래서 우리는 목표한 부분만을 정확하게 가열할 수 있는 적외선 램프를 사용하고 있습니다. 방 전체를 가열하는 대신, 열을 정확히 필요한 곳에 집중시킬 수 있습니다. 간단하지 않나요? 이렇게 하면 전체 생산 과정에서 발생하는 에너지 소비를 크게 줄일 수 있습니다. 적절한 온도 유지 (기다릴 필요 없음) 반도체를 다룰 때는 온도를 마음대로 조절할 수 없습니다. 정확한 온도 상승이 필요하지만, 너무 과도하게 온도를 높이면 안 됩니다. 적외선 램프의 장점은 에너지가 직접 재료 속으로 들어간다는 점입니다. 웨이퍼 주변의 공기가 따뜻해질 때까지 기다릴 필요가 없으므로, 기다리는 시간이 몇 시간에서 몇 초로 줄어듭니다. 정말 빠릅니다. 또한, 한 번에 생산되는 센서의 수도 훨씬 많아집니다. 전력망을 업그레이드하기 위해 전력 회사에 연락할 필요도 없습니다. 설치에 있어서의 세부 사항 우리는 기판이 열을 어떻게 흡수하는지에 따라 단파 또는 중파 적외선 램프를 선택합니다. 바이오센서의 경우 이 점이 매우 중요합니다. 파장을 적절히 조절하면 열이 원하는 곳에만 머물러서 민감한 전자 부품에 영향을 주지 않습니다. 또한, 깨끗한 작업 환경을 유지하기 위해 석영 커버를 사용합니다. 하지만 문제는 이 램프들이 매우 뜨거워진다는 것입니다. 고출력 적외선 램프는 엄청난 열을 내뿜습니다. 만약 케이스의 배기 시스템이 제대로 작동하지 않거나 팬이 그 열을 처리할 수 없다면, 센서의 성능에 문제가 생길 수 있습니다. 따라서 램프의 출력과 도구가 그 열을 얼마나 잘 처리할 수 있는지를 조절해야 합니다. 더 친환경적인 방법 적외선 램프를 사용하는 가장 큰 장점은 ‘즉시 가열’이 가능하다는 것입니다. 램프를 PID 컨트롤러에 연결하면, 웨이퍼가 정확한 위치에 있을 때만 전력이 공급됩니다. 더 이상 가열하는 데 너무 많은 시간이 걸려서 열통로를 계속 가동시킬 필요가 없습니다. 이는 구형의 복잡한 가열 요소들을 대체하는 간단한 방법입니다. 이를 통해 시설은 바닥을 파고 전체 작업 과정을 재설계할 필요 없이도 탄소 배출 목표를 달성할 수 있습니다.