귀하의 고가장비가 ‘오븐’이 되는 것을 막으세요
대부분의 일반적인 가열 요소들은 열을 사방으로 방출합니다. 좁은 반도체 제조 장비에서는 이것이 큰 문제가 됩니다.
그렇게 발생하는 “낭비되는 열”은 그냥 사라지지 않습니다. 그 열은 장비의 내벽에 스며들어서, 작업자를 화상시킬 정도로 장비를 뜨겁게 만듭니다. 또한 주변의 섬세한 전자 부품들에도 악영향을 미칩니다. 이는 아무도 원하지 않는 문제입니다.
열을 제대로 필요한 곳에 전달하기
우리는 단파 적외선 램프와 효과적인 반사기를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 에너지가 기계의 전체 프레임에 퍼지는 대신, 그 에너지를 한 점에 집중시킵니다. 그렇게 하면 웨이퍼나 기판에 정확하게 열이 전달되고, 나머지 장비는 영향을 받지 않습니다.
이것은 단순한 논리적 변화일 뿐입니다. 방 전체를 가열하는 대신, 필요한 부분만 가열하는 것입니다.
왜 이것이 중요한가요?
열의 방향을 제어함으로써 내벽은 시원하게 유지됩니다. 목표물에 정확하게 열이 전달되지만, 외부는 안전하게 남아 있습니다.
가장 좋은 점은, 무거운 단열재나 큰 크기의 냉각팬을 사용할 필요가 없다는 것입니다. 팬들은 소음을 내고 먼지를 일으키므로, 이런 것들을 없애면 환경이 훨씬 깨끗해집니다.
단점 및 해결 방법
물론, 방향성 적외선도 완벽한 것은 아닙니다. 빠르고 정확하긴 하지만, 정렬이 잘못되면 문제가 생깁니다.
램프의 각도가 조금만 잘못되어도 목표물을 놓치고, 장비의 벽에 구멍이 생길 수 있습니다. 설치할 때는 반드시 신중해야 합니다. 마운팅 브래킷은 견고해야 하며, 보정도 정확해야 합니다.
우리는 이 제품을 기존의 가열기 대용으로 만들었습니다. 그러니 굳이 전체 장비를 분해할 필요는 없습니다. 그냥 더 안전하고 시원한 장비를 얻으면 됩니다.
부탁드립니다. IR 배열의 전력량을 감당할 수 있는지 꼭 확인해 주세요. 전력이 부족하면 장비가 과열되어 파손될 수 있습니다.