드라이 필름 리젝트 코팅 히터

리소그래피 공정에서 라미네이팅 히터는 단순히 열을 가하는 역할만 하는 것이 아닙니다. 이 히터는 전체 포토레지스트의 온도를 조절하는 핵심 요소입니다. 소프트 베이크 과정에서 0.5°C라는 미세한 온도 변화가 생기면, 점도나 에지 비드 현상, 그리고 치명적인 치수 제어...