심부 자외선(DUV) 리지스트 경화 램프

리소그래피 공정에서는 빠르게 학습해야 합니다. 약간의 오차라도 발생하면, 그로 인해 생산 효율에 큰 영향을 미칠 수 있습니다. 반도 정도의 오차만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 불순물이 존재하면 양질의 웨이퍼도 순식간에 버려지게 됩니다. DUV 리조스트 건...