근적외선(NIR) 웨이퍼 건조기

300mm 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 열처리 단계가 아닙니다. 이는 치수 정밀도를 보장하는 매우 중요한 과정입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 온도가 ±0.1°C만큼이라도 벗어나면, 치수 제어가 불가능해집니다. 일반적인 가열판 방...