웨이퍼 가공 공구용 온도 센서

문제점: 웨이퍼 가공 장비의 과도한 열 문제 웨이퍼 가공 장비에 대해 이야기해보겠습니다. 물론 열이 필요하지만, 정밀하고 제어 가능한 형태의 열이 필요합니다. 기존의 방식들은 혼란스럽습니다. 열이 사방으로 퍼져나가 에너지가 낭비되며, 챔버 벽면도 위험한 상태가 됩니다...