
Mengapa kita menggantikan sistem pemanasan udara biasa dengan sistem pemanasan inframerah di kilang pembuatan semikonduktor Bayangkan bagaimana cara kerja ketuhar konveksi biasa. Udara dipanaskan terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut yang memanaskan wafer tersebut. Proses ini memerlukan masa yang lama. Ada masa menunggu yang panjang sebelum suhu mencapai tahap yang diinginkan. Di kilang pembuatan semikonduktor, masa menunggu ini sangat merugikan kerana ia mengurangkan kelajuan pengeluaran produk. Itulah sebabnya kita menggantikan sistem pemanasan udara tersebut dengan sistem pemanasan inframerah, yang dilengkapi dengan penutup daripada keluli tahan karat berkualiti tinggi. Tiada keperluan untuk menggunakan udara sebagai medium penghantar haba Kelebihan sistem pemanasan inframerah ialah ia tidak memerlukan udara untuk menghantar haba. Ia menggunakan gelombang elektromagnetik untuk memanaskan permukaan bahan secara langsung. Tidak perlu menunggu seluruh ruang ketuhar menjadi panas; proses pemansuhan berlaku dalam masa beberapa saat sahaja. Ketika merancang sistem ini, masa yang diperlukan untuk memanaskan ruang merupakan faktor yang paling penting. Ketuhar konveksi mungkin memerlukan masa 20 minit untuk mencapai suhu yang stabil. Namun, sistem pemanasan inframerah hanya memerlukan beberapa saat sahaja. Dengan cara ini, lebih banyak wafer dapat diproses setiap syif. Aspek perkakasan Kita menggunakan keluli tahan karat berkualiti tinggi untuk membuat penutup sistem ini, kerana tekanan haba yang dihasilkan sangat tinggi. Penutup ini bukan sahaja berfungsi untuk menahan lampu, tetapi juga berfungsi sebagai cermin. Permukaan dalaman penutup ini dipolis agar foton-foton yang tidak diperlukan dapat dipantulkan kembali ke permukaan bahan yang diproses. Saiz penutup ini juga merupakan kelebihan yang besar. Kita tidak perlu lagi menggunakan saluran udara atau pam udara yang besar, sekali gus menjimatkan ruang. Namun, ada juga kelemahan. Sistem pemanasan inframerah menghasilkan haba yang sangat intensif. Jika sistem pendinginan tidak mencukupi, komponen elektronik yang digunakan akan rosak. Realiti di lapangan kerja Anda tidak boleh sekadar menggunakan sistem pemanasan inframerah tanpa sebarang penyesuaian. Ia memerlukan sedikit penyesuaian sebelum ia dapat berfungsi dengan baik. Sistem pemanasan konveksi agak mudah dikendalikan, tetapi sistem pemanasan inframerah pula memerlukan ketepatan yang tinggi. Jika posisi lampu tidak tepat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas. Oleh itu, kita perlu menyesuaikan sudut lampu agar haba dapat tersebar secara merata di seluruh permukaan wafer.