Waarom we stopten met conventionele verwarming en overgingen op infraroodverwarming in de fabriek
Stel je voor hoe een standaard convectieoven werkt. Je verhit de lucht, en die lucht verwarmt uiteindelijk je wafer. Het is traag. Er is een irritante vertraging: je moet gewoon wachten tot de temperatuur voldoende is gestegen. In een halfgeleiderfabriek is dat wachten een grote beperking. Het belemmert de productie enorm. Daarom hebben we die omvangrijke luchtsystemen vervangen door infraroodverwarming, die zich bevindt in speciaal ontworpen behuizingen van roestvrij staal. Geen bemiddelaar meer nodig Het voordeel van infraroodverwarming is dat er geen lucht nodig is om de warmte over te dragen. De elektromagnetische golven raken het materiaal rechtstreeks. Er is geen sprake meer van wachten tot de hele kamer op temperatuur is. Het gebeurt bijna onmiddellijk. Bij het plannen van een systeem is alleen de ‘opwarmtijd’ belangrijk. Een convectieoven kan wel 20 minuten nodig hebben om op temperatuur te komen. Een infraroodsysteem bereikt zijn doel al na enkele seconden. Als je geen tijd meer verspilt met wachten, kun je veel meer wafers per shift verwerken. De technische aspecten We gebruiken hoogwaardig roestvrij staal voor de behuizingen, omdat de thermische belasting enorm is. Maar de behuizing heeft niet alleen als doel de lampen op hun plek te houden – ze fungeert ook als spiegel. De binnenkanten van de behuizingen worden gepolijst, zodat alle overtollige fotonen weer terugkeren naar het werkstuk. Ook het ruimtebeslag is een groot voordeel. Alle grote leidingen en blazen zijn niet meer nodig, waardoor er veel meer ruimte beschikbaar komt. Er is echter ook een nadeel: infraroodsystemen genereren zeer intense hitte. Als je niet goed let op de ventilatie of gebruik maakt van te zwakke koelventilatoren, kan dat schadelijk zijn voor de elektronica. De realiteit op de werkvloer Je kunt niet zomaar infraroodsystemen in een productielijn plaatsen en verwachten dat ze meteen perfect werken. Er moet nog wat aanpassing worden gedaan. Convectieoven zijn relatief flexibel, maar infraroodsystemen zijn anders. Als de lampen niet precies op de juiste positie zitten, kunnen er hete plekken op de wafer ontstaan. Het is een kwestie van precisie. We bouwen onze systemen zo op dat je de hoeken van de lampen kunt aanpassen, zodat de warmte gelijkmatig over het hele oppervlak wordt verspreid.