Laat een kapotte lamp je productie niet verpesten: houd de MEMS-wafer schoon In een systeem met hoge productiesnelheden kan één defecte lamp alles...

Terug in de lijn komt een nat MEMS-wafer uit de reiniging en wacht. De volgende stap—photoresist coating, soft bake en een schone droogfase—vereist...