Verhindering van waferbesmetting door ontwerp van de behuizing voor de roestvrijstalen IR verwarmer
Het stoppen van het nachtmerrieachtige fenomeen van een kapotte infraroodlamp In een halfgeleiderfabriek is een kapotte infraroodlamp geen simpel...
MEMS wafel droogverhitter
Terug in de lijn komt een nat MEMS-wafer uit de reiniging en wacht. De volgende stap—photoresist coating, soft bake en een schone droogfase—vereist...