Acabando com o pesadelo de quebras de lâmpadas no processo de processamento de wafers
Se você já trabalhou em fábricas de semicondutores de alta carga, sabe bem como é. Aquele som repentino de uma lâmpada quebrando… Não se trata apenas de um componente quebrado; é um desastre total.
Quando um tubo de quartzo se rompe, cacos de vidro e filamentos de tungstênio caem direto sobre os wafers. Tudo está perdido. Agora, você precisa passar horas – ou dias – limpando a câmara para voltar ao normal. É um problema que ninguém quer enfrentar.
É por isso que desenvolvemos nossas lâmpadas com revestimento de ouro. Queríamos resolver definitivamente esse problema de “poluição secundária”.
O segredo está no revestimento interno.
Colocamos o elemento de aquecimento dentro de um segundo invólucro de quartzo. Pense nisso como uma espécie de rede de segurança. Se o tubo interno falhar devido a surtos de energia ou choques térmicos, o tubo externo vai capturar todos os detritos.
A sujeira fica dentro da lâmpada. Seus wafers permanecem limpos. Você pode continuar operando a linha ou pará-la quando quiser, sem precisar se preocupar com a limpeza complexa.
Por que o ouro?
As lâmpadas de quartzo convencionais perdem muita energia, que acaba se dissipando no ar. Para resolver isso, adicionamos um revestimento fino de ouro na superfície externa. Ele age como um espelho, refletindo a radiação infravermelha de volta para o alvo. Isso significa que você obtém uma densidade de calor muito maior na superfície dos wafers, sem precisar aumentar a potência da lâmpada. É mais eficiente.
Mas atenção: o ouro é delicado. Não se deve usar produtos químicos agressivos para limpar esses tubos. Caso contrário, o revestimento será danificado, e o desempenho térmico da lâmpada será afetado. Trate-as com cuidado.
Como fazer com que elas funcionem na prática
Essas lâmpadas foram projetadas para funcionar com alta potência e ondas curtas. Quando conectadas a sistemas de alta carga, elas ficam extremamente quentes. Por isso, é preciso verificar cuidadosamente os sistemas de resfriamento. Se o fluxo de ar diminuir, o revestimento de ouro pode causar superaquecimento do invólucro de quartzo, reduzindo assim a vida útil da lâmpada.
Para ajudar a lidar com o estresse causado pelo rápido aquecimento e resfriamento, adicionamos capas reforçadas nos extremos das lâmpadas, para que os selos não falhem. Elas são projetadas para substituir facilmente as lâmpadas convencionais, então você não precisa reconstruir todo o sistema só para fazer uma atualização.