Почему мы отказываемся от традиционных систем нагрева на сухом воздухе в производственных помещениях Подумайте о принципе работы обычной конвекционной печи: сначала нагревается воздух, а затем этот воздух нагревает кристаллы. Этот процесс медленный. Необходимо ждать, пока температура достигнет нужного уровня. В производстве полупроводников такое ожидание становится серьезной проблемой — оно снижает производительность. Именно поэтому мы начали заменять эти громоздкие системы нагрева на инфракрасные системы, расположенные в специальных корпусах из нержавеющей стали. Отсутствие посредников Преимущество инфракрасного нагрева заключается в том, что ему не нужен воздух для передачи тепла. Он использует электромагнитные волны для непосредственного нагрева поверхности. Не нужно ждать, пока вся камера нагреется — процесс происходит практически мгновенно. При планировании системы самым важным фактором является время достижения нужной температуры. Для конвекционной печи может потребоваться 20 минут на стабилизацию температуры. А для инфракрасной системы этого времени хватает всего лишь нескольких секунд. Если не тратить время на ожидание, можно обработать гораздо больше кристаллов за одну смену. Характеристики оборудования Мы используем высококачественную нержавеющую сталь для корпусов, так как тепловые нагрузки здесь очень велики. Корпус не только фиксирует лампы на месте, но и выполняет роль зеркала: внутренние поверхности отполированы так, чтобы любые излишние фотоны отражались обратно на поверхность кристалла. Еще одним преимуществом является компактность оборудования. Не нужны большие вентиляционные каналы и вентиляторы, что освобождает много места. Но есть и недостатки. Инфракрасные системы создают сильное локальное нагревание. Если не учесть правильную вентиляцию или выбрать недостаточно мощные охлаждающие фанты, это может повредить электронику. Реальность производства Нельзя просто установить инфракрасную систему и ожидать, что она будет работать идеально с первого дня. Требуется некоторая настройка. Конвекционные системы более устойчивы к ошибкам, но инфракрасные системы требуют точной настройки. Если угол расположения лампы ошибается на несколько миллиметров, на поверхности кристалла будут образовываться горячие точки. Это требует высокой точности при настройке. Мы разрабатываем системы так, чтобы можно было точно регулировать угол расположения ламп, обеспечивая равномерное распределение тепла по всей поверхности кристалла.