Перестаньте позволять сломавшимся лампам разрушать ваши ваферы
При работе с высокой нагрузкой на устройства для обработки вафер сломанная лампа представляет собой не просто проблему или временную задержку в производстве. Это настоящий кошмар. Если кварцевая трубка лопается, осколки стекла и отложения галогена попадают непосредственно на поверхность кремния. В результате весь партия продукции становится бракованной. Это полный провал из-за загрязнения продукции.
Мы нашли способ предотвратить это. Мы создали физический барьер внутри корпуса рефлектора.
Как работает этот барьер
Рефлектор выполняет свою основную функцию — отражение инфракрасного излучения обратно на вафер с использованием высококачественных алюминиевых или золотистых покрытий. Но он также выполняет ещё одну важную функцию: он создает барьер между лампой и поверхностью вафера. Если трубка лопается, корпус рефлектора задерживает осколки. Таким образом, происходит контролируемый выход из строя лампы. Это гораздо лучше.
Проблема тепла
При полной нагрузке на лампы выделяется огромное количество тепла. Мы скорректировали форму рефлектора, чтобы направить энергию именно туда, где она нужна — на поверхность вафера. Это снижает количество тепла, распространяющегося по комнате, и ускоряет процесс обработки ваферов.
Но есть один недостаток: более точное фокусирование тепла создает дополнительную нагрузку на концы трубки. Необходимо убедиться, что вентиляторы достаточно мощные, чтобы удалять тепло от трубки. В противном случае лампа может снова выйти из строя.
Установка в производственную линию
Мы разработали эти лампы как замену старым. Вам не нужно разбирать всю установку, чтобы добавить защитный барьер. Рефлектор крепится непосредственно к каркасу, поэтому он не занимает дополнительного пространства. Когда лампа ломается, достаточно просто заменить её, быстро протереть рефлектор и продолжить работу. Таким образом, катастрофическая ситуация превращается в обычную задачу по техническому обслуживанию.