300mm hattında, 2°C kayma ile 15 saniyelik yumuşak pişirme, resist içinde bir hat genişliği sapması olarak görülür. Maruz kalma için yalnızca bir şansınız var. Termal bütçeyi döngü döngü içinde korumak için hızlı tepki veren infrared ısıtıcı ampulü geliştirdik.
Gizli olanın önemi Kısa dalga halojen elemanları, hızlı radyan yanıt ve stabil emisyon katsayısı için seçilen kuvars zarflarının içinde çalıştırıyoruz. Tepki süresi 200ms’nin altında ve sıcaklık kontrolü, wafer yüzeyi boyunca ±0.1°C tutar. Tasarım, sıfır parçacık üretimi ile Sınıf 1-100 temiz odalarda yaşamaktadır ve çıktı, %5’ten daha az bozulma ile 5,000+ saat boyunca tekrarlanabilir kalır. Bunun fotoresist işleme sürecinde neden işe yaradığı Yumuşak pişirme, sert pişirme, yakın pişirme—sıcaklık birliği, CD birliğini ve defekt yoğunluğunu belirler. Hızlı tepki, stabilizasyon penceresini küçültür, böylece birliği kaybetmeden boş zamanı kesersiniz. Kazanç, daha yüksek verim, daha dar süreç pencereleri ve daha az atık waferdır. Enerji kullanımı da düşer, çünkü ısı ihtiyaca göre sağlanır, depolanmaz. Dikkat etmeniz gerekenler Kurulum toleransları sıkıdır. Ampul, yansıtıcı geometrisi ve hedef mesafe ile hizalanmalıdır; aksi takdirde sıcak noktalar ve birlik sapmaları oluşur. Değişimden önce, aracın soketini, voltajını ve montaj donanımını kontrol edin. Standart arayüzleri destekliyoruz, ancak eski pişirme plakaları özel aparatlar gerektirebilir. Performansı korumak için yansıtıcıyı her 2,000 saatte bir kontrol etmeyi planlayın.