Isının Doğru Yere Ulaştırılması
Yarı iletken işlemlerinde bir wafer’ı ısıtırken sadece gücü artırmak yeterli değildir. Herkes soruna güç uygulayabilir, ancak asıl mesele enerjinin doğru yönde kullanılmasıdır. Eğer kızılötesi enerji cihazın gövdesine sızıyorsa, bu durumda elektrik boşa harcanmış olur ve soğuk kalması gereken parçalar ısınır. İşte bu yüzden altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Bu sayede enerji hedefe yönlendirilir.
Neden Altın?
Standart kuvars lambalarını düşünün; bunlar radyasyonu her yöne saçarlar. Dar alanlarda bu durum, çevredeki bileşenlerin aşırı ısınmasına neden olur. Yansıtıcının üzerine ince bir altın tabakası koymamızın sebebi, altının alüminyum veya parlak çelikten daha iyi şekilde kızılötesi enerjiyi yansıtabilmesidir. Böylece ısı daha dar bir alana odaklanır. Sonuç olarak, prizden aldığınız her watt gerçekten wafer’e ulaşır. Bu oldukça verimli bir yöntemdir.
Denge Kurma
Her şey enerji yoğunluğuna bağlıdır. Geometriyi ayarlayarak ve altın kaplamayı kullanarak ısı akışını yoğunlaştırabiliriz. Böylece istenen sıcaklığa çok daha hızlı ulaşılır. Bu alanda hızlı termal tepki, stabil bir işlem süreci ile bozulmuş ürünler arasındaki farktır. Ancak enerjiyi sürekli maksimum seviyeye çıkarmak da mümkün değildir. Yüksek yoğunluktaki radyasyon, lambanın contalarına ve gövdesine büyük baskı uygular. Eğer gücü fazla artırarak süreci birkaç saniye kısaltmaya çalışırsanız, filaman yanabilir veya yansıtıcı zarar görebilir. Ayrıca, wafer’e ulaşmayan ısıyı kontrol edebilecek bir soğutma sisteminizin olması da önemlidir.
İşlevselliği Koruma
Bu ısıtıcıları, mevcut sistemlerinize sorunsuz bir şekilde yerleştirilebilecek şekilde tasarladık. Ancak bir uyarı: Altın oldukça hassastır. Eğer yağlar veya kimyasallar bu kaplamaya bulaşırsa, yansıtma özelliği azalır. Bu durumda ısı dağılımı bozulur. Bu yüzden sıkı temizlik protokolleri uygulanmalıdır. Altını temiz tutun; aksi takdirde waferlerinizde soğuk noktalar oluşur ve bu da iş sürecinde sorunlara yol açar.