Yüksek saflıkta kuvars IR lambaları kullanılarak MEMS waferlerinin kurutulmasında sıfır kirlenme sağlanması
Sınıf 100 temiz oda koşullarını korumak Eğer MEMS sensör yüzeylerini kurutuyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu zaten biliyorsunuzdur: Yüzeye...
MEMS sensör yongası kurutma ısıtıcısı
Kırık bir lambanın tüm ürünlerinizi mahvetmesine izin vermeyin: MEMS waflarını temiz tutmak
Yüksek kapasiteli MEMS sistemlerinde, tek bir kırılma tüm...
MEMS plaka kurutma ısıtıcısı
Hat üzerinde, ıslak bir MEMS wafer temizlemeden çıkar ve beklemeye alır. Bir sonraki durak—fotoresist kaplama, yumuşak pişirme ve temiz...