Yüksek saflıkta kuvars IR lambaları kullanılarak MEMS waferlerinin kurutulmasında sıfır kirlenme sağlanması
Sınıf 100 temiz oda koşullarını korumak Eğer MEMS sensör yüzeylerini kurutuyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu zaten biliyorsunuzdur: Yüzeye...
Yakın kızılötesi (NIR) wafer kurutucu
300 mm hatlarında, fotoresistin ısıtılması sadece başka bir ısıl işlem değildir; bu, boyutsal doğruluk açısından çok önemli bir adımdır. Eğer yumuşak...