На лінії 300mm 15-секундна м’яка сушка з коливанням температури на 2°C призведе до відхилення ширини лінії на резисті. Експозиція виконується лише один раз. Ми розробили інфрачервону нагрівальну лампу з швидким відгуком, щоб дотримуватися теплового бюджету в межах допустимого діапазону, цикл за циклом.
Що має значення всередині
Ми використовуємо короткохвильові галогенові елементи в кварцових оболонках — обраних за швидку променисту реакцію та стабільний коефіцієнт емісії. Час відгуку менший за 200мс, а контроль температури утримує ±0,1°C по всій поверхні пластини. Конструкція працює у чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення частинок, а вихідна потужність залишається стабільною понад 5,000 годин із деградацією менше ніж 5%.
Чому це ефективно при обробці фоторезисту
М’яка сушка, жорстка сушка, проксиміті-підсушка — рівномірність температури безпосередньо впливає на однорідність CD та щільність дефектів. Швидкий відгук зменшує часові межі стабілізації, що дозволяє скоротити час простою без втрати однорідності. Результатом є збільшена пропускна здатність, звужені технологічні допуски та зменшення кількості браку пластин. Також знижується споживання енергії, оскільки тепло подається за потребою, а не накопичується.
На що слід звернути увагу
Допуски монтажу суворі. Лампа має точно співпадати з геометрією рефлектора та цільовою відстанню — в іншому разі виникають гарячі точки і зміщення однорідності. Перед заміною перевірте роз’єм інструмента, напругу та кріплення. Ми підтримуємо стандартні інтерфейси, але старі плити сушки можуть потребувати індивідуальних кріплень. Плануйте перевіряти рефлектор кожні 2,000 годин для збереження необхідної продуктивності.