На лінії завдовжки 300 мм процедура висушування фотополімеру є не просто ще одним термічним кроком у процесі виробництва. Це ключовий елемент для забезпечення точності розмірів продукту. Навіть найменша похибка у температурі під час процедури висушування може призвести до значних проблем з контролем розмірів продукту. Традиційні нагрівальні платформи створюють проблеми з точністю обробки країв пластини, а конвективні печі сприяють потраплянню забруднень у процес виробництва. У чистих приміщеннях класу 1–100 утворення частинок та непланові зупинки процесу коштують не кількох хвилин – а цілих партій продукції.
Що є важливим у цьому процесі
Ми створили сушарку пластин за допомогою напівдовгих інфрачервоних променів: пряме, об’ємне нагрівання без будь-якого руху повітря. Це забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини з точністю до ±0,1°C протягом усього процесу. Температура фотополімеру також строго контролюється, що забезпечує її стабільність протягом кількох секунд. Відсутність руху повітря означає відсутність частинок. Камера є герметичною, тож єдине, що може торкатися пластини, – це сама пластина.
Система розроблена для безперервної роботи 24/7 – компоненти призначені для постійної роботи, а термічна архітектура забезпечує точність протягом тисяч циклів. Сумісність із чистими приміщеннями є частиною дизайну системи. Вона є механічно герметичною, хімічно сумісною та забезпечує рівень частинок на низькому рівні.
Чому це важливо у літографії
У літографії однорідність температури є ключовим фактором для забезпечення стабільності та якості продукції. Сушарка на основі напівдовгих інфрачервоних променів скорочує час нагрівання, зменшує енергоспоживання та усуває варіації, які виникають через нерівномірне нагрівання пластини. Це забезпечує більш точне контролювання температури під час процедури висушування, менше необхідності в переробці продукції та більш прогнозовану роботу лінії.
Енергоспоживання також зменшується, оскільки енергія йде безпосередньо на пластину, а не на нагрівання повітря чи інших елементів обладнання. Інтервали технічного обслуговування також збільшуються, оскільки кількість зношуваних частин зменшується. Крім того, терміновість процесу зростає, оскільки точність температури більше не є проблемою.
Що потрібно враховувати під час планування
Для функціонування сушарки необхідний прямий вид на поверхню пластини, тож конфігурація обладнання має забезпечувати вільний оптичний шлях всередині камери. Під час інтеграції з існуючим обладнанням необхідно заздалегідь врахувати механічні характеристики та протоколи комунікації – ми надаємо всі необхідні параметри на ранніх етапах, щоб уникнути проблем під час інтеграції.
Під час початкової налаштування необхідно провести короткий процес нагрівання для налаштування параметрів фотополімеру. Після цього процес стає стабільним – точним, безперервним та передбачуваним. Це стосується кожного дня та кожної партії продукції.