لیتھوگرافی کے عمل میں، تیزی سے سیکھا جاسکتا ہے؛ چاہے یہ نرم بیکنگ ہو یا سخت بیکنگ، اگر اس میں تھوڑی سی بھی تبدیلی ہو جائے، تو اس کے نتیجے میں پروڈکشن پر منفی اثرات پڑتے ہیں۔ آدھے ڈگری کی بھی تبدیلی سے کرٹیکل ڈائمینشن متأثر ہو سکتی ہے، اور چھوٹے ذرات کی وجہ سے ایک اچھا ویفر بھی بیکار ہو سکتا ہے۔ DUV ریزسٹ بیکنگ لیمپ، اس قسم کے خطرات کو دور کرنے میں مدد کرتا ہے۔
کن چیزوں کی اہمیت ہے؟
ہم یہاں ویفر کی سطح پر تھرمل یکسانیت کی بات کر رہے ہیں، جو ±0.1°C کے اندر ہونی چاہیے، تاکہ پوری فوٹوریزسٹ سطح ایک ہی طرح سے عمل کرے۔ شارٹ-ویو آؤٹ پٹ اور کوارٹز-آپٹیمائزڈ ڈیزائن کی وجہ سے حرارت تیزی سے لیکن کنٹرولڈ طریقے سے پیدا ہوتی ہے، اور کوئی ہاٹ اسپاٹ نہیں بنتا۔ سسٹم کی ساخت بھی بہترین ہے – کوئی ذرہ خارج نہیں ہوتا، لہذا کلین روم کے کلاس 1-100 کے معیارات کو برقرار رکھنے کی ضرورت نہیں ہے۔
عملی زندگی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
DUV فوٹوریزسٹ پروسیسنگ میں، بیکنگ کی استحکام ہی CD کنٹرول، سائیڈ وال پروفائل، اور خرابیوں کی کمی کا باعث بنتا ہے۔ اس طرح پروسیس میں بہتری آتی ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور منصوبہ بندی بھی آسان ہو جاتی ہے۔
تنصیب کے دوران کیا توقع کی جاسکتی ہے؟
یہ لیمپ موجودہ بیکنگ ٹریکس میں استعمال کیے جا سکتے ہیں، لیکن تھرمل انٹرفیس کو درست رکھنا ضروری ہے؛ سبسٹریٹ، ریفلیکٹر کی سیدھ، اور ایگزاسٹ روٹنگ کو چیمبر کی ڈھانچہ سے مطابقت رکھنا ضروری ہے۔ پروفائل کو درست کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہوگا۔
آؤٹ پٹ کی شدت کون سے عوامل سے متاثر ہوتی ہے؟
آؤٹ پٹ کی شدت کوارٹز کی گندگی سے متاثر ہوتی ہے، لہذا اسے باقاعدگی سے صاف کرنا ضروری ہے۔ 240V کا الگ سرکٹ استعمال کرنا ضروری ہے، اور کنیکٹر کو بھی OEM بیکنگ ٹول سے مطابقت رکھنا ضروری ہے۔