ہم فیکٹریوں میں پرانے ہوا-بنیادی حرارتی نظاموں کی جگہ آئنفراریڈ حرارتی نظاموں کا استعمال کیوں کر رہے ہیں؟
سوچیں کہ ایک عام کنوکشن اوون کیسے کام کرتا ہے۔ پہلے ہوا کو گرم کیا جاتا ہے، پھر وہی ہوا ویفروں کو گرم کرتی ہے۔ یہ عمل بہت سست ہے، اور درجہ حرارت بڑھنے کا انتظار کرنا بہت تکلیف دہ ہے۔ سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں یہ انتظار بہت نقصان دہ ہے، کیوں کہ اس سے پروڈکشن کی رفتار کم ہو جاتی ہے۔ اسی لیے ہم ان بھاری ہوا-بنیادی حرارتی نظاموں کی جگہ آئنفراریڈ حرارتی نظاموں کا استعمال کر رہے ہیں، جو خصوصی اسٹینلیس اسٹیل کے خولوں میں نصب ہوتے ہیں۔ واسطوں کی ضرورت نہیں آئنفراریڈ حرارتی نظاموں کی خوبی یہ ہے کہ اس کے لئے ہوا کی ضرورت نہیں ہے۔ یہ الیکٹرومیگنیٹک لہروں کا استعمال کرکے براہ راست سبسٹریٹ کو گرم کرتا ہے۔ اب پورے چیمبر کے گرم ہونے کا انتظار کرنے کی ضرورت نہیں، یہ کام فوراً ہی ہو جاتا ہے۔ جب ہم کوئی سسٹم تیار کرتے ہیں، تو “ریمپ-اپ ٹائم” ہی اہم عنصر ہوتا ہے۔ کنوکشن اوون کو مستحکم ہونے میں 20 منٹ لگ سکتے ہیں، جبکہ آئنفراریڈ سسٹم میں یہ عمل چند سیکنڈوں میں ہی ہو جاتا ہے۔ جب وقت کی بربادی ختم ہو جاتی ہے، تو ہر شفٹ میں زیادہ ویفرز پروسس کئے جا سکتے ہیں۔ ہارڈویئر کا پہلو ہم خولوں کے لئے اعلیٰ معیار کا اسٹینلیس اسٹیل استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ حرارتی دباؤ بہت زیادہ ہوتا ہے۔ لیکن خول صرف لیمپوں کو جگہ پر رکھنے کا کام ہی نہیں کرتا، بلکہ یہ ایک آئینے کی طرح بھی کام کرتا ہے۔ ہم اندرونی سطحوں کو چمکدار بناتے ہیں، تاکہ کوئی بھی غیرضروری روشنی واپس ویفر پر پڑے۔ اس سے جگہ کی بچت بھی ہوتی ہے، کیوں کہ بڑے ڈکٹ اور بلوئرز کی ضرورت نہیں رہتی، جس سے فرش کی جگہ بچ جاتی ہے۔ لیکن ایک مشکل بھی ہے… آئنفراریڈ سسٹم بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ اگر وینٹیلیشن کا نظام مناسب نہ ہو، یا کولنگ فین مناسب سائز کے نہ ہوں، تو کنٹرول الیکٹرانکس خراب ہو سکتے ہیں۔ فیکٹری کی حقیقت آپ آئنفراریڈ سسٹم کو براہ راست استعمال نہیں کر سکتے، اور امید نہیں کر سکتے کہ یہ پہلے ہی دن ہی بہترین کام کرے گا۔ اس کے لئے کچھ ترمیمات ضروری ہیں۔ کنوکشن اوون کافی لچیلا ہے، لیکن آئنفراریڈ سسٹم الگ قسم کا ہے۔ اگر لیمپ کی سمت چند ملی میٹر بھی غلط ہو، تو ویفر پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ یہ ایک بہت ہی درستگی کا کام ہے۔ ہم اپنے سسٹموں کو ایسے ہی ڈیزائن کرتے ہیں کہ لیمپوں کی سمت کو درست کیا جا سکے، تاکہ حرارت پوری سطح پر یکساں طور پر پھیل سکے۔