在光刻工序中，即使软烘烤温度出现半度的变化，也足以导致关键尺寸出现纳米级的偏差。这并非单纯的热量问题，而是一种需要精确控制的工艺环节。
普通灯管会产生臭氧，而臭氧会改变光阻的附着力，同时还会增加颗粒物含量。我们使用无臭氧的红外灯管，这样就能确保温度始终处于设定值范围内，不会出现意外情况。
核心技术要点
我们使用响应速度快的短波红外发射器，能够在几秒钟内实现稳定的输出。在整个烘烤区域内，晶圆的温控精度可保持在±0.1°C之间，且不同批次之间的重复性也非常好。
石英外壳以及与洁净室环境相匹配的材料，使得该系统能够在1-100级洁净环境中正常工作。在这种环境下，灯管不会释放任何气体，也不会产生颗粒物。功率密度经过精心调整，以匹配光阻的特性；其光谱输出也与常见光阻材料的吸收曲线相吻合，从而减少热滞后现象和边缘效应。
为何这对光阻处理如此重要
软烘烤的作用是去除溶剂并稳定薄膜的应力；而硬烘烤则是在蚀刻前让图像更加稳定。通过使用无臭氧的红外灯管，可以更好地控制线条宽度，减少缺陷，进而降低返工率。
该系统能够24/7持续运行，且由于热量直接传递到薄膜上，而不是整个腔体中，因此比传统对流式加热方式更节能。这样一来，生产效率可以提高，同时灯管的寿命也更长，维护周期也很容易预测。
实际应用中的注意事项
灯管的发光方向是线性的，因此，集成结构必须确保光束能与晶圆保持一致。此外，还应使用反射装置来防止多余的热量影响到其他光学元件。
当设备停止使用时，需要一段时间来达到热平衡状态。因此，在规划烘烤流程时，需要考虑这一时间因素。该系统与现有设备兼容性良好，但还需与设备团队确认机械结构和电源连接是否合适。