别再把能量浪费在工具的墙壁上了
为硅片加热需要大量的能量。问题在于，大多数标准的红外加热装置会将热量散射到各个方向。这样一来，大量能量都浪费在了工具的内壁上，而不是硅片上。
实际上，设备的机箱就成了一个巨大的散热器，导致外部外壳温度过高，甚至可能烫伤操作人员。同时，这也使得冷却系统不得不更加努力地工作，实在是一种浪费。
我们是如何解决这个问题的
我们通过精确控制热量的传播方向来解决这个问题。与其使用向四周发散热量的灯泡，我们则使用经过过滤的发射器和反射器，将红外光束精准地照射到硅片上。
这就好比用手电筒代替普通灯泡——通过缩小光束的角度，我们可以让能量集中在所需的位置，从而避免热量扩散到腔室壁上。
对操作人员来说好处多多
既然墙壁不再吸收多余的热量，那么操作人员的安全性就会大大提高。他们不必担心工具外部那些突然出现的“热点”，因为在维护过程中这些热点可能会给操作人员带来危险。
我们并不是简单地给墙壁加上绝缘层来掩盖问题，而是从源头上防止热量接触到墙壁。
当然，也有相应的代价
不过，由于热量被集中起来，硅片上的热流强度会显著增加。虽然这样可以让升温速度加快，但也会给温度控制器带来更大的压力。如果PID调节设置不当，就可能导致温度超过设定值。此外，还需要确保红外传感器能够正确检测出特定波长的光线，否则读数将会不准确。
好消息是，这些设备可以直接替换现有的设备。只需将其连接到现有的电源上即可。您很快就能看到效果：硅片能更快达到理想温度，而腔室壁则保持低温状态。