
别再让精密设备变成“烤箱”了
大多数普通的加热元件都会散发热量,这些热量会向各个方向散发。在空间有限的半导体生产设备中,这无疑是个问题。
这些“废热”并不会消失,而是会渗入设备的内部结构中,导致设备外壳变得过热,进而可能伤及操作人员,同时也会对设备内的敏感电子元件造成损害。这真是令人头疼的问题。
把热量引导到正确的位置
我们使用短波红外灯以及一些巧妙的反射器来解决这个问题。这样,能量就不会散布在整个机器框架上,而是被集中到需要的地方——也就是晶圆或基材所在的位置。这样一来,设备的其他部分就不会受到过热的影响。
其实,这只是一个简单的思路转变:不再让整个房间都变热,而是只让需要加热的部分变热。
为什么这对您来说很重要
当能够控制热量的方向时,设备的内部结构就能保持低温。只有目标部位会被加热,而设备的外部则仍然可以安全触摸。
最棒的是,您不必再使用那些笨重的绝缘材料或大型冷却风扇了。风扇不仅会发出噪音,还会产生灰尘。去掉它们后,整个环境会变得干净很多。
需要注意的点(以及解决方法)
不过,定向红外加热并非万能的。虽然它的效率很高,且能实现非常精确的控温,但它对安装精度要求很高。如果灯具的安装角度有少许偏差,就很可能无法准确加热目标部位,甚至会烧坏设备外壳。因此,安装时必须格外小心,确保固定装置足够稳固,同时校准工作也要做到精准无误。
我们已经将这些设备设计成可直接替代普通加热元件的产品,因此您无需拆解整个设备。这样,您就能获得更安全的设备,同时让设备内部保持较低的温度。
请务必检查一下电源的输出功率是否足以满足红外加热元件的需求。如果功率不足,那么设备很可能会因为过热而损坏。