用于冲洗的防水红外灯

解决半导体清洗工序中的“高温壁”问题 如果你从事过半导体的湿法处理工作，那么你一定明白其中存在的难题。在清洗过程中，必须对晶圆进行加热，但同时又不能让设备外壳变成一个“烤箱”。 传统的辐射式加热器其实就像灯泡一样，会将热量向四周散发。这样一来，设备的内壁就会变得异常烫热。这不仅浪费能源，而且对于在...