RTP系统用卤素灯

在制造车间，快速热处理中的热漂移侵蚀了热预算，光刻胶轮廓开始崩溃。晶圆级均匀性并不是某种学术指标——它是盈利生产和废料之间的界限。 实际重要的内容 我们为RTP规格的卤素灯选择了短波输出和石英外壳，因为它们能够快速、稳定地加热晶圆。晶圆级均匀性可以保持在±0.1°C，即使在生产线24/7运行时，温...