مكنسة مائية on Focused IR Heating Beams

جهاز تحكم في مجفف الأشعة تحت الحمراء الرقمي

Mon, 20 Jul 2026 11:41:13 +0800

التوقف عن حدوث التلف: الحفاظ على نظافة الرقائق وأمان أجهزة التجفيف

إذا حدث لك أن انفجرت مصباحة بالأشعة تحت الحمراء أثناء عملية الإنتاج، فأنت تعرف أن ذلك كارثة حقيقية. في لحظة، كل شيء على ما يرام، وفي اللحظة التالية، تجد شظايا من الكوارتز وخيوطًا معدنية تسقط على الرقائق.
إنها كارثة كاملة؛ فأنت لا تخسر رقيقة واحدة فقط، بل قد تتسبب في تلوث الدفعات الكاملة من الرقائق. لقد استغرق الأمر منا وقتًا طويلًا لإيجاد طريقة لمنع حدوث هذه المشكلة من البداية.

جهاز تجفيف الرقائق بالأشعة تحت الحمراء القريبة

Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800

في خط الإنتاج بطول 300 مم، فإن عملية تسخين المادة الحساسة للضوء ليست مجرد خطوة حرارية عادية، بل هي خطوة مهمة جدًا من ناحية التحكم في الأبعاد. إذا اختلفت درجة الحرارة أثناء عملية التسخين حتى بمقدار ±0.1 درجة مئوية، فإن ذلك سيؤدي إلى فشل عملية التحكم في الأبعاد. الأفران التقليدية تسبب مشاكل في التكرارية في أطراف الرقاقة، كما أن الأفران التقليدية تسمح بدخول الجسيمات الملوثة إلى الغرفة. في غرف العمليات من الفئة 1–100، فإن تكون الجسيمات والتوقفات غير المخطط لها لا يكلف دقائق فقط، بل يكلف الشركة كميات كبيرة من المنتجات.

مصباح مجفف شريحة DNS (الشاشة)

Fri, 05 Jun 2026 04:16:41 +0800

على أرض الليثوغرافيا، يعتبر انحراف بمقدار 1°C في الخبز اللين أو الخبز الصلب ليس “خطأ صغيرًا”. إنه تأثير على العائد، بوضوح وبساطة. تشاهد الشرائح تخرج من المسار مع حواف زائدة، انتشار في عرض الخط، أو مذيب لم يتم إزالته بالكامل—بقايا تظهر لاحقًا كعيب. ما تحتاجه هو مصدر حرارة يعالج الشريحة بأكملها كجسم حراري واحد، وليس كقطعة قماش من بقع ساخنة وباردة.

دقة الأشعة تحت الحمراء: تجانس دون المليمتر، متكرر

تم بناء مصباح مجفف الشرائح DNS حول التسخين بالأشعة تحت الحمراء القريبة (NIR) المتحكم بها، مصمم لتقديم حقل حراري متجانس دون المليمتر عبر سطح الشريحة. في الواقع، ينجم عن ذلك درجة حرارة متسقة للبوليمر الضوئي من المركز إلى الحافة، بحيث يتم تسخين المذيبات بالتساوي في الخبز اللين ويقوم الخبز الصلب بتثبيت شكل المقاومة—دون إعادة تدفق أو تكوين فقاعات.