http://ir-heat-beam.com/bn/tags/%E0%A6%B2%E0%A7%8D%E0%A6%AF%E0%A6%BE%E0%A6%AE%E0%A6%BF%E0%A6%A8%E0%A7%87%E0%A6%9F%E0%A6%BF%E0%A6%82/ Recent content in ল্যামিনেটিং on Focused IR Heating Beams Hugo bn Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/bn/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/bn/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ড্রাই ফিল্ম রেজিস্ট ল্যামিনেটিং হিটার"></p> <p>লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, ল্যামিনেটিং হিটারটি শুধুমাত্র তাপ সরবরাহ করে না; বরং পুরো ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত তাপমাত্রা নির্ধারণ করে। যদি সফ্ট বেক প্রক্রিয়ায় ০.৫°C এর মতো তাপমাত্রা পরিবর্তন ঘটে, তাহলে ভিসকোসিটি, এজ বিড এবং ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণে সমস্যা দেখা দেয়। যখন সাবস্ট্রেটের উপর তাপমাত্রা ≤±০.১°C এর মধ্যে থাকা দরকার, তখন ড্রাই ফিল্ম রেজিস্ট ল্যামিনেটিং হিটারটি কেবলমাত্র একটি সহায়ক যন্ত্র নয়; বরং এটাই প্রক্রিয়াটির ভিত্তি।</p> <p>আমরা এটার চারপাশে একটি সরল ব্যবস্থা তৈরি করেছি। আমরা ক্লিনরুম-সংগত, শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) হিটিং সিস্টেম ব্যবহার করি; এতে কোয়ার্টজ-এনক্যাপসুলেটেড এমিটার অ্যারে রয়েছে। এর ফলে দ্রুত তাপ প্রদান সম্ভব হয়, আর কোনো ধরনের কণা নির্গত হয় না। তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রকটি হিটার ব্লকের পরিবর্তে ওয়েফারের স্তরেই কাজ করে; ফলে অ্যাক্টিভ এরিয়ায় তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। স্টেইনলেস-স্টিলের চেম্বার সারফেস এবং HEPA-ইন্টিগ্রেটেড এক্সহাস্ট পাথগুলো ক্লাস ১–১০০ পরিবেশে কণার পরিমাণ নিয়ন্ত্রণ করে। প্রতিটি ব্যাচের জন্য নির্দিষ্ট তাপমাত্রা নির্ধারণ করা যায়; ফলে পুনরাবৃত্তি সম্ভব হয়।</p>