http://ir-heat-beam.com/cs/tags/kvart/ Recent content in Kvart on Zaměřené IR ohřev paprsky Hugo cs Thu, 10 Sep 2026 17:17:49 +0800 http://ir-heat-beam.com/cs/posts/preventing-wafer-contamination-through-uhp-infrared-lamp-safety-design/ Thu, 10 Sep 2026 17:17:49 +0800 http://ir-heat-beam.com/cs/posts/preventing-wafer-contamination-through-uhp-infrared-lamp-safety-design/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Prevence kontaminace waferů díky bezpečnostní konstrukci UHP infračervené lampy"></p> <h1 id="zastavení-problémů-jak-se-vypořádat-s-kontaminací-částicemi-při-použití-lamp-uhp">Zastavení problémů: Jak se vypořádat s kontaminací částicemi při použití lamp UHP</h1> <p>V zařízeních s vysokým výkonem je selhání lampy opravdu katastrofou – není to jen nepříjemnost nebo krátkodobá porucha. Když praskne křemíková trubice, přestane fungovat, ale zároveň rozmetá střepy skla a částice po povrchu waferu. Výsledkem je ztráta produktivity a nutnost důkladného čištění celé komory. Je to noční můra.</p> <h2 id="jak-zabránit-selhání-lampy">Jak zabránit selhání lampy</h2> <p>Naše lampy UHP jsou navrženy tak, aby odolaly velkým nárazům. Termické cykly jsou totiž extrémně náročné, proto používáme syntetický křemen vysoké čistoty. Používáme také speciální halogenový cyklus – díky němu se zabrání odpařování wolframu a ztmavování stěn trubice. Když zůstanou stěny čisté, teplo se rovnoměrně distribuuje. Nevznikají „horká místa“, žádné abnormální napětí – a co je nejdůležitější – žádné praskliny.</p>