http://ir-heat-beam.com/cs/tags/laminov%C3%A1n%C3%AD/ Recent content in Laminování on Focused IR Heating Beams Hugo cs Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/cs/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ Thu, 25 Jun 2026 04:54:44 +0800 http://ir-heat-beam.com/cs/posts/dry-film-resist-laminating-heater/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Ohřívač na laminování rezistoru z suché fólie"></p> <p>V prostoru určeném k litografii nejenže topný element zvyšuje teplotu, ale také určuje celkový termální profil fotorezistentu. Pokud dojde k odchylce 0,5 °C během procesu změkčování fotorezistentu, máte problémy s viskozitou materiálu, vznikem hrudek na okrajích a s kontrolováním kritických rozměrů. Když požadavky vyžadují uniformitu teploty ≤±0,1 °C na celé ploše substrátu, pak topný element pro laminaci suchého filmu není jen doplňkový prvek – je to základní prvek celého procesu.</p> <p>To, co kolem něj budujeme, je jednoduché. Používáme topné zařízení na krátkovlnné infračervené záření, kompatibilní s čistými prostředími, s emitory uloženými v krystalu draslíku. To umožňuje rychlou reakci na změny teploty bez uvolňování částic. Regulátor teploty funguje na úrovni desky čipu, nikoliv na úrovni samotného topného elementu, a udržuje uniformitu teploty na úrovni ±0,1 °C v celé aktivní oblasti. Povrchy komory vyrobené z nerezové oceli a systém odvodu vzduchu s filtrací typu HEPA udržují počet částic pod kontrolou v prostředích třídy 1–100. Opakovatelnost výsledků je zajištěna díky pevně stanovenému termálnímu profilu, který lze uložit a znovu použít pro každou várku.</p>