Hören Sie auf, Ihre teuren Geräte zu einem „Ofen“ werden zu lassen.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente sind unpraktisch – sie geben die Wärme in alle Richtungen ab. In einem engen Halbleiterwerkzeug ist das ein Problem.
Diese „verschwendete Wärme“ verschwindet nicht einfach so. Sie dringt in die Innenwände ein und macht diese so heiß, dass der Bediener verbrannt werden kann. Zudem belastet sie die empfindlichen elektronischen Komponenten, die direkt daneben befinden. Das ist ein echtes Problem.
Die Wärme genau dorthin leiten, wo sie hingehört
Wir lösen dieses Problem mit Kurzwellen-IR-Lampen sowie cleveren Reflektoren. Anstatt die Energie über den gesamten Maschinenrahmen zu verteilen, konzentrieren wir sie in einem engen Strahl. Wir lenken diesen Strahl genau dorthin, wo er benötigt wird – auf das Wafer oder Substrat – und lassen den Rest des Geräts in Ruhe.
Es handelt sich dabei um einen einfachen logischen Ansatz: Statt den ganzen Raum zu heizen, heizen wir nur die jeweilige Stelle.
Warum das für Ihr Werk wichtig ist
Wenn man den Winkel der Wärme kontrollieren kann, bleiben die Innenwände kühl. Es entsteht eine konzentrierte Heizzone – doch die Außenhülle bleibt weiterhin sicher zum Berühren.
Das Beste daran: Man muss keine voluminösen Isoliermaterialien oder überdimensionierte Kühlfans mehr verwenden. Fächer sind lästig – sie vibrieren und erzeugen Staub. Ohne sie wird die Umgebung viel sauberer.
Der Haken – und wie man damit umgeht
Direktionaler IR-Strahl ist zwar effektiv und präzise, doch er ist empfindlich bezüglich der Ausrichtung. Wenn die Lampe auch nur wenige Grad vom richtigen Winkel abweicht, wird man das Ziel verfehlen und versehentlich eine Lücke in der Wand des Kammerraums schaffen. Man darf bei der Installation nicht nachlässig sein. Die Befestigungsclips müssen fest sein und die Kalibrierung muss perfekt sein.
Wir haben diese Lösungen als Ersatz für herkömmliche Heizelemente entwickelt – Sie müssen also Ihren gesamten Maschinenrahmen nicht auseinandernehmen. Sie erhalten einfach ein sichereres Gerät und ein kühleres Innengebiet.
Bitte überprüfen Sie unbedingt, ob Ihre Stromversorgung die erforderliche Leistung liefern kann. Wenn Sie zu wenig Leistung verwenden, riskieren Sie einen vorzeitigen Verschleiß des Geräts.