IR on Focused IR Heating Beams

Keramische Endkappe für IR Emitter

Mon, 27 Jul 2026 09:12:37 +0800

Warum Keramikendenkappen in Infrarotsystemen wirklich wichtig sind
In der Welt der Halbleiterherstellung hängt die Effizienz des Herstellungsprozesses maßgeblich davon ab, wie gut man mit dem thermischen Gradienten auf der Waferoberfläche umgeht. Wir nutzen Infrarotemitter, um eine präzise Erwärmung zu erreichen. Der Wolframfaden ist dabei das wichtigste Element – doch die Keramikendenkappe sorgt dafür, dass das gesamte System nicht versagt und ausfällt.

Das Schwierige ist die Verbindung zwischen den Komponenten.
Man kann die Keramikendenkappe als Brücke zwischen dem Quarzkörper und den elektrischen Anschlüssen betrachten. Wir verwenden hochreines Aluminiumoxid, denn dieses kann den Stress aushalten, der entsteht, wenn Glas und Metallteile sich in unterschiedlichem Maße ausdehnen.

Aluminium Reflektor für IR Lampe

Wed, 22 Jul 2026 04:47:39 +0800

Mehr Nutzen aus Aluminiumreflektoren ziehen
Seien wir ehrlich: Energie zu verschwenden, indem man Halbleiter trocknet und aushärtet, bedeutet einfach nur, Geld wegzuwerfen. Meistens dringt das Infrarotlicht einfach in den Gehäuserahmen der Maschine ein – dort bewirkt es nichts. Deshalb verwenden wir Aluminiumreflektoren. Sie fangen diese überschüssige Wärme auf und leiten sie wieder auf das Substrat zurück.

Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung – doch genau deshalb kann die Infrarotbehandlung als „umweltfreundlich“ gelten. Keine schädlichen organischen Lösungsmittel, keine verschwendete Energie – einfach nur ein viel geringerer Kohlenstoffausstoß pro Behandlungszyklus.

Präziser Infrarot Sensor für Wafer

Tue, 14 Jul 2026 10:48:44 +0800

Hören Sie auf, Energie an die Wände der Geräte zu verschwenden

Das Erhitzen eines Siliziumwafers erfordert eine Menge Energie. Das Problem: Die meisten herkömmlichen IR-Systeme strahlen diese Energie überallhin ab. Ein großer Teil der Energie landet dabei an den Innenwänden der Geräte statt auf dem Wafer selbst.
Im Grunde wird das Gehäuse des Geräts zu einer Art „Riesenkühler“. Dadurch werden die Außenwände des Geräts so heiß, dass sie Verbrennungen verursachen können. Zudem müssen die Kühlsysteme viel härter arbeiten als nötig. Das ist einfach nur verschwenderisch.