http://ir-heat-beam.com/de/tags/nir/ Recent content in (NIR) on Focused IR Heating Beams Hugo de Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/de/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/de/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Nahe infrarot Trockner für Wafer"></p> <p>In der 300-mm-Linie ist das Trocknen des Fotolacks keine gewöhnliche thermische Behandlung – es handelt sich dabei um einen entscheidenden Faktor für die Genauigkeit der Prozesse. Selbst kleine Abweichungen von ±0,1 °C können dazu führen, dass die Kontrolle über die kritischen Abmessungen unmöglich wird. Herkömmliche Heizplatten führen zu Unregelmäßigkeiten an den Rändern der Wafer, während konventionelle Öfen zur Verunreinigung der Wafer durch Luftpartikel führen. In einer Reinraumklasse 1–100 kosten Partikelbildung sowie unplanmäßige Stillstände nicht nur Minuten – sie kosten ganze Produktchargen.</p>