http://ir-heat-beam.com/de/tags/ozon/ Recent content in Ozon on Focused IR Heating Beams Hugo de Mon, 29 Jun 2026 07:16:58 +0800 http://ir-heat-beam.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 07:16:58 +0800 http://ir-heat-beam.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Ozonfreies Infrarotlichtlampe"></p> <p>Im Bereich der Lithografie führt eine Abweichung der Temperatur um einen halben Grad dazu, dass die kritischen Abmessungen um Nanometer verändert werden. Es geht hier nicht nur um Wärme – es geht vielmehr um präzise Kontrolle.</p> <p>Herkömmliche Lampen können Ozon erzeugen. Dieses Ozon beeinträchtigt die Haftung des <a href="https://o-yate.net">Fotolacks</a> und führt <a href="https://henruite.com">zudem</a> zu unerwünschten Partikelveränderungen. Wir verwenden daher ozongfreies Infrarotlicht – dadurch bleibt die Temperatur genau dort, wo Sie sie eingestellt haben, ohne Überraschungen.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist:</strong> Wir nutzen Infrarotemitter mit kurzer Wellenlänge und schneller Reaktionszeit. Dadurch bleibt die Ausgangstemperatur innerhalb von Sekunden konstant. In der Bäckzone bleibt die Homogenität auf dem Wafer bei ±0,1°C – auch bei wiederholten Prozessen bleibt die Genauigkeit konstant.</p>