Sensor on Focused IR Heating Beams

Heizgerät zur Trocknung von MEMS Sensorwafern

Tue, 21 Jul 2026 03:50:50 +0800

Lassen Sie nicht zu, dass eine kaputte Lampe Ihre gesamte Charge zerstört – halten Sie die MEMS-Wafer sauber!
In einer Anlage mit hoher Produktionsleistung kann bereits ein einziger Defekt alles ruinieren. Es passiert in Sekundenschnelle: Eine Infrarotlampe platzt – plötzlich sind die Wafer nicht nur nass, sondern auch mit Glasstreifen und Metallpartikeln bedeckt. Das ist ein Albtraumszenario, bei dem ganze Chargen in Sekundenzeit zerstört werden.
Wir bauen unsere Heizelemente speziell so, damit Sie sich nicht mit solchen Problemen herumschlagen müssen.

Heizung zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Fri, 17 Jul 2026 07:30:15 +0800

Die Herstellung von Wasserstoffsensoren erfordert große Präzision. Wenn die Wärme nicht genau dort entsteht, wo sie benötigt wird, fehlt es bei der chemischen Ablagerung – und das gesamte Sensorelement ist dann nutzlos. Wir bauen unsere Heizelemente so, dass sie mit diesen hohen Anforderungen umgehen können. Doch ehrlich gesagt: Die Wärmeerzeugung ist das Einfachere. Das eigentliche Problem ist die elektrische Sicherheit.

„Fehlerfreie“ Prüfung
Wir führen keine Gruppenprüfungen durch – das ist ein Risiko, das wir nicht eingehen wollen. Stattdessen wird jede einzelne Glühröhre, die unser Werk verlässt, einer vollständigen Spannungstests sowie einem Isolierwiderstandstest unterzogen.
Warum? Denn ein winziger Loch oder eine mikroskopisch kleine Riss im Quarz kann dazu führen, dass es zu einem Überschlag kommt. In einem Hochspannungssystem führt das nicht nur dazu, dass der Schalter auslöst – es kann auch dazu führen, dass die Steuerboards beschädigt werden oder die gesamte Reinraumumgebung beeinträchtigt wird.
Wir setzen die Dielektrikfestigkeit weit über dem Niveau ein, das in der Produktion tatsächlich erforderlich ist. Das liegt daran, dass Materialien bei hoher Temperatur ihre Eigenschaften ändern. Wenn die Isolierung bei Raumtemperatur noch in Ordnung ist, versagt sie bereits bei der Betriebstemperatur.

Präziser Infrarot Sensor für Wafer

Tue, 14 Jul 2026 10:48:44 +0800

Hören Sie auf, Energie an die Wände der Geräte zu verschwenden

Das Erhitzen eines Siliziumwafers erfordert eine Menge Energie. Das Problem: Die meisten herkömmlichen IR-Systeme strahlen diese Energie überallhin ab. Ein großer Teil der Energie landet dabei an den Innenwänden der Geräte statt auf dem Wafer selbst.
Im Grunde wird das Gehäuse des Geräts zu einer Art „Riesenkühler“. Dadurch werden die Außenwände des Geräts so heiß, dass sie Verbrennungen verursachen können. Zudem müssen die Kühlsysteme viel härter arbeiten als nötig. Das ist einfach nur verschwenderisch.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarot

Fri, 10 Jul 2026 12:31:53 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, kennt man sicherlich das Problem der Kontamination. Schon ein kleiner Glassplitter oder ein wenig Gas, das von einem Heizelement freigesetzt wird, kann dazu führen, dass die ganze Charge ruiniert wird.

Die meisten Standard-Infrarotlampen sind problematisch. Sie verwenden billige Klebstoffe oder Glas von minderer Qualität – dieses Glas beginnt bereits bei Erwärmung zu spröde zu werden und gibt Gerüche ab. Das ist ein großes Risiko, besonders bei der Verarbeitung von Halbleitern oder beim Verpacken von Sensoren. Deshalb nutzen wir hochreines synthetisches Quarzglas.

Temperatursensor für Wafer Bearbeitungswerkzeuge

Thu, 09 Jul 2026 03:51:09 +0800

Das Problem: Die Kontrolle der Hitze in den Wafer-Verarbeitungswerkzeugen
Lassen Sie uns über die Werkzeuge zur Verarbeitung von Wafern sprechen. Sie benötigen zwar Wärme – doch es geht dabei um eine präzise und kontrollierte Wärmequelle.

Alte Methoden sind unpräzise. Sie verteilen die Wärme überallhin, was Energieverschwendung bedeutet und außerdem dazu führt, dass die Wände des Behälters zu einer Quelle für Brandgefahr werden.

Deshalb haben wir eine bessere Lösung entwickelt. Wir nutzen gezielte Infrarotbeheizung. Dadurch wird die Wärme gezielt auf das Zielobjekt abgegeben – ansonsten bleibt alles kalt. Keine Energieverschwendung mehr, kein Risiko durch Überhitzung der Werkzeugwände.