http://ir-heat-beam.com/fa/tags/%D9%86%DB%8C%D8%B1/ Recent content in (نیر) on Focused IR Heating Beams Hugo fa Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/fa/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ Wed, 17 Jun 2026 16:01:06 +0800 http://ir-heat-beam.com/fa/posts/near-infrared-nir-wafer-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-beam.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="خشککن ویفر نور مادون قرمز نزدیک (NIR)"></p> <p>در خط تولید ۳۰۰ میلی‌متری، فرآیند گرم کردن فوتورزیست نه تنها یک مرحله حرارتی ساده است، بلکه تأثیر زیادی بر کنترل ابعاد محصول دارد. اگر دمای فوتورزیست در حین فرآیندهای گرم کردن، حتی کمی از محدوده ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد خارج شود، کنترل ابعاد محصول از بین خواهد رفت. اجاق‌های معمولی، تکرارپذیری عملیات روی سطح ویفر را مختل می‌کنند؛ همچنین، فرهای هوایی باعث ورود ذرات آلاینده به محیط تولید می‌شوند. در اتاق‌های پاکسازی کلاس ۱-۱۰۰، تولید ذرات و توقف‌های غیرمنتظره، هزینه‌های زیادی را به همراه دارند.</p>